据介绍，取名“羲之”，是因其精密“书写”能力与书法家王羲之的毛笔神韵相契合。“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。” 研发团队相关负责人介绍。

这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6纳米，线宽8纳米，可灵活修改设计图案，无需传统光刻所需的掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画。

“芯片研发初期会设计很多版型、图案，常常需要一条线一条线进行修改，电子束光刻机精度高、‘书写’便捷，极大提升了芯片研发初期反复调试的效率。”研发团队相关负责人说。

浙大校友企业总部经济园二期

此前，这类设备受到国际出口管制，国内顶尖科研机构和企业长期无法采购。“羲之” 的落地，打破了这一困局，并且其定价低于国际均价，目前已与华为海思等企业及多家科研机构展开接洽。

“羲之” 的成功，背后是科技创新与产业创新 “两新融合” 的推动。今年7月，省级教育科技人才一体改革专项试点项目在位于余杭区的浙江大学校友企业总部经济园落地，浙江大学与园区携手搭建成果转化高速路，通过企业提需求、教授带团队揭榜、政府全流程陪跑的模式，助力科研成果落地。