1月28日消息，广东深圳半导体设备核心零部件供应商恒运昌在科创板敲钟上市。

恒运昌发行价为92.18元/股，发行市盈率为48.39倍，开盘价为310元/股，涨幅达236%。截至9点50分，其股价最高上涨323%至390元/股，市值为264亿元。

恒运昌成立于2013年3月，是国产等离子体射频电源系统行业龙头企业、国内极少数实现半导体级等离子体射频电源系统量产的企业，获评国家专精特新重点“小巨人”企业。

等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难环节之一，直接决定设备工艺能力、产品良率，国产化率极低。

历经十年，恒运昌先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列等离子体射频电源系统，打破了美系两大巨头MKS和AE在国内长达数十年的垄断格局。

根据弗若斯特沙利文统计，2024年，中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%，恒运昌在国产等离子体射频电源系统厂商中的市场份额位列第一。

恒运昌是首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商，产品系列已交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂。

其量产产品已达国际龙头企业的次新一代同等技术水平，可支持7-14nm制程。

国产薄膜沉积设备龙头拓荆科技不仅是恒运昌的第一大客户，也是其第七大股东，直接持股3.09%，同时拓荆科技全资子公司上海岩泉持股0.33%。

本次IPO，恒运昌募资总额为15.61亿元，募资净额为14.14亿元，拟用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设等项目。